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펌프 외장형 파티클 센서
미국 TSI

‌Model : AeroTrak+ 7000 시리즈

AeroTrak+ 7000 시리즈는 0.2um이상 부터 0.5um 이상까지 
다양한 Particle Size의 측정이 가능한 고정형 파티클 센서입니다.

샘플 유량도 2.83 LPM 또는 28.3 LPM을 선택 할 수 있습니다.

Long Life Laser Diode를 사용하여, Laser 무상보증기간 5년 적용 드립니다
따라서 유지 보수 비용에서 큰 절감 효과가 있습니다.

FMS 환경모니터링 프로그램과 연결하여 24시간 온라인 모니터링 실시.
FMS 프로그램은 OPC 적용으로 BMS와 직접 연결 가능.

Pump 외장형으로 외부 Vacuum 또는 Pump와 연결하여 Sampling 합니다.
POE Ethernet 연결시 Power는 별도로 필요 없습니다.

Size와 유량에 따른 모델은 아래 참조 바라겠습니다.


                                            AeroTrak+  시리즈 모델 분류                                                                                                                                                 

7201
0.1 CFM (2.83 L/min)
0.2, 0.3 μm
0.2, 0.3, 0.5, 1.0 μm
  • Semiconductor
7301
0.1 CFM (2.83 L/min)
0.3, 0.5 μm
0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm
0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm
0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm
  • Electronics
  • Industrial
  • Semiconductor
7310
1 CFM (28.3 L/min)0.3, 0.5 μm
0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm
0.3, 0.5, 5.0, 10.0 μm
  • Electronics
  • Semiconductor
75010.1 CFM (2.83 L/min)0.5, 5.0 μm
0.5, 1.0, 5.0, 10.0 μm
0.5, 5.0, 10.0, 25.0 μm
0.5, 1.0, 5.0, 10.0, 25.0 μm
  • Electronics
  • Industrial
75101 CFM (28.3 L/min)
0.5, 5.0 μm
0.5, 1.0, 5.0, 10.0 μm
0.5, 5.0, 10.0, 25.0 μm
  • Electronics
  • Industrial
  • Pharmaceutical




‌Model : AeroTrak 7110

AeroTrak 7110 은 0.1 um를 측정하는 Particle Counter로서 
Size Channel 8개로 구성되어 있습니다
주로 반도체 클린룸에서 대량으로 사용되고 있습니다.

0.1 um Particle Size는 매우 작기 때문에 일반적인 Laser Power로는 
입자 산란을 시키지 못합니다. 반대로 높은 Laser Power를 사용하면 
공기 분자까지 산란되어 Noise가 발생되는 문제가 있습니다
따라서 Noise 없이 안정적인 0.1 um 파티클 측정 기술은 매우 어렵습니다.

일부 타사에서도 0.1 um 파티클 카운터를 판매하고 있지만 기술 한계로 인한 
빈번한 Noise 가성 데이터 오류 문제로 데이터 신빙성을 갖기 어렵습니다‌
AeroTrak 9110은 30년 이상 검증된 High Power Laser Tube를 사용하여
Noise 대역과 Particle 산란 대역을 충분히 넓혀, Noise에 의한 가성 데이터
문제가 전혀 없습니다.
오랜기간 검증된 품질과 Life Time을 바탕으로, 
Laser Tube 무상 보증기간을 4년‌으로 연장하였습니다. 
이는 파티클 카운터의 가장 비싼 Part를 4년간 무상 보증 하는 것으로 
유지보수 비용을 획기적으로 내릴 수 있습니다.


SPECIFICATION
  1. Particle Size Range : 0.100 to 10 µm 
  2. Particle Channel Sizes : 0.1 / 0.15 / 0.2 /0.25 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 5.0 um 
  3. Counting Efficiency : 50% at 0.1 um, 100% for particles  > 0.15 um (per ISO 21501-4 and JIS) 
  4. Sampling Mode : Auto, Manual 
  5. Sampling Time : 1 sec to 99 hours 
  6. Light Source : Enhanced active cavity HeNe Laser Tube 
  7. Zero Count : < 1 count per 5 min (per ISO 21501-4 and JIS) 
  8. Flow Rate : 1.0 CFM (28.3 L/min) 
  9. Communication : Modbus® over RS-485, Modbus® over Ethernet, serial RS-232 
  10. Data Storage : 2,000 sample records 
  11. Dimension (H x W x D)  : 13.4 cm x 12.7 cm x 45.6 cm 
  12. Weight : 5.23 kg 
  13. Power : 110 to 240 VAC universal power supply
  14. Operating Range : 10° to 35° C 
  15. Warranty :  2 years, Laser 4 years