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초소형 차압센서
중국 GTI
Model : GTI 135 / 145
반도체 장비에 사용되는 초소형 차압계로 EFEM, 챔버 등
차압 측정이 요구되는 모든 Application에 적용 가능합니다.
초소형 미니 차압계로서 크기가 매우 작아, 장비 제조 설계시 공간을
최소화 할 수 있습니다.
GTI 135 는 크기가 30 * 30 * 35mm,
GTI 145는 24 * 48 * 73mm 에 불과합니다
반도체, 디스플레이 장비 설계시 더 큰 여유 공간 활용이 가능합니다.
Accuracy +/- 1~2% FS 로 뛰어나며, 측정 Range도 선택 가능합니다.
초소형 차압센서 적용 고객사 입니다